4F Manufacturing－ Fluoro, Fast, Friendly, Favorable

排烟管道为什么要喷涂ECTFE或ETFE

半导体在制造过程中(尤其是晶圆厂)必须在无尘室制作， 尤其是蚀刻过程，无论是用湿式的氟酸或干式的CF4等气体，都会产生具有腐蚀性的气体，所以都要用排烟管道适时的排放出去。

以往的排烟管道制作都是PVC管，但PVC管道易燃烧及脆化，如果一个不小心，整个厂房都会陷入火海，一个企业毕生心血付之一炬，为了公共安全上的顾虑及考虑，先进的半导体厂在设厂时所装设的排烟管道一定要有美国FM公司防火认证。

使用不锈钢管内部喷涂氟素树脂涂料ECTFE及ETFE的排烟管道是最广泛的应用。这凸显了氟素树脂(铁氟龙)的两个特点:

 

1.耐酸气腐蚀

2.不燃性 (防火重点)

 

什么是FM

FM（美国） （FM Approvals） 1835 年设立，对防火、防爆设备进行 试验、认证的民间机构。负责制作及发行 FM认证标准。 FM 标准的一部分被联邦、州政府及各 自治体的基准所引用。

想了解更多请至FM website>>

 

排烟管道涂装ECTFE或ETFE施工流程

排酸、排烟风管实绩

联电（8A~8F、12A（Fab2）、新加坡UMCi）、中国苏州和舰２厂、和淞、茂德（8”及12”厂）、联友光电、群策、群创、力晶、华邦、统宝、广辉2厂、合泰、旺宏、彩晶3厂、奇美四厂、中芯、华得、三星、夏普Sharp...等。