排煙管道為什麼要噴塗ECTFE或ETFE

半導體在製造過程中(尤其是晶圓廠)必須在無塵室製作， 尤其是蝕刻過程，無論是用濕式的氟酸或乾式的CF4等氣體，都會產生具有腐蝕性的氣體，所以都要用排煙管道適時的排放出去。

以往的排煙管道製作都是PVC管，但PVC管道易燃燒及脆化，如果一個不小心，整個廠房都會陷入火海，一個企業畢生心血付之一炬，為了公共安全上的顧慮及考量，先進的半導體廠在設廠時所裝設的排煙管道一定要有美國FM公司防火認證。

使用不鏽鋼管內部噴塗氟素樹脂塗料ECTFE及ETFE的排煙管道是最廣泛的應用。這凸顯了氟素樹脂(鐵氟龍)的兩個特點:

 

1.耐酸氣腐蝕

2.不燃性 (防火重點)

 

什麼是FM

FM（美國） （FM Approvals） 1835 年設立，對防火、防爆設備進行 試驗、認證的民間機構。負責制作及發行 FM認證標準。 FM 標準的一部分被聯邦、州政府及各 自治體的基準所引用。

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排煙管道塗裝ECTFE或ETFE施工流程

排酸、排煙風管實績

聯電（8A~8F、12A（Fab2）、新加坡UMCi）、中國蘇州和艦２廠、和淞、茂德（8”及12”廠）、聯友光電、群策、群創、力晶、華邦、統寶、廣輝2廠、合泰、旺宏、彩晶3廠、奇美四廠、中芯、華得、三星、夏普Sharp...等。