铁氟龙涂装排烟管道介绍
Fluoropolymer coating Ductwork Information
排烟管道为什么要喷涂ECTFE或ETFE
半导体在制造过程中(尤其是晶圆厂)必须在无尘室制作, 尤其是蚀刻过程,无论是用湿式的氟酸或干式的CF4等气体,都会产生具有腐蚀性的气体,所以都要用排烟管道适时的排放出去。
以往的排烟管道制作都是PVC管,但PVC管道易燃烧及脆化,如果一个不小心,整个厂房都会陷入火海,一个企业毕生心血付之一炬,为了公共安全上的顾虑及考虑,先进的半导体厂在设厂时所装设的排烟管道一定要有美国FM公司防火认证。
使用不锈钢管内部喷涂氟素树脂涂料ECTFE及ETFE的排烟管道是最广泛的应用。这凸显了氟素树脂(铁氟龙)的两个特点:
1.耐酸气腐蚀
2.不燃性 (防火重点)
什么是FM
FM(美国) (FM Approvals) 1835 年设立,对防火、防爆设备进行 试验、认证的民间机构。负责制作及发行 FM认证标准。 FM 标准的一部分被联邦、州政府及各 自治体的基准所引用。
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排烟管道涂装ECTFE或ETFE施工流程
排酸、排烟风管实绩
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联电(8A~8F、12A(Fab2)、新加坡UMCi)、中国苏州和舰2厂、和淞、茂德(8”及12”厂)、联友光电、群策、群创、力晶、华邦、统宝、广辉2厂、合泰、旺宏、彩晶3厂、奇美四厂、中芯、华得、三星、夏普Sharp...等。